Ein Konzept zur Modellierung und Simulation mikroelektromechanischer Systeme mit Anwendung auf ein elektrostatisches Kraftmikroskop

Originalpublikation

Greiff, Michael: Ein Konzept zur Modellierung und Simulation mikroelektromechanischer Systeme mit Anwendung auf ein elektrostatisches Kraftmikroskop. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität, Diss., 2010, 138 S.

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Publikationstyp: DoctoralThesis
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2010
Schlagwörter (deutsch): MEMS, EFM, FEM
Fachliche Zuordnung (DDC): 621,3 | Elektrotechnik, Elektronik

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