Ein Konzept zur Modellierung und Simulation mikroelektromechanischer Systeme mit Anwendung auf ein elektrostatisches Kraftmikroskop

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dc.identifier.uri http://dx.doi.org/10.15488/7405
dc.identifier.uri https://www.repo.uni-hannover.de/handle/123456789/7458
dc.contributor.author Greiff, Michael ger
dc.date.accessioned 2019-11-24T09:20:52Z
dc.date.available 2019-11-24T09:20:52Z
dc.date.issued 2010
dc.identifier.citation Greiff, Michael: Ein Konzept zur Modellierung und Simulation mikroelektromechanischer Systeme mit Anwendung auf ein elektrostatisches Kraftmikroskop. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität, Diss., 2010, 138 S. ger
dc.description.abstract [no abstract] ger
dc.language.iso ger eng
dc.publisher Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover
dc.rights Es gilt deutsches Urheberrecht. Das Dokument darf zum eigenen Gebrauch kostenfrei genutzt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden. ger
dc.subject MEMS ger
dc.subject EFM ger
dc.subject FEM ger
dc.subject.ddc 621,3 | Elektrotechnik, Elektronik ger
dc.title Ein Konzept zur Modellierung und Simulation mikroelektromechanischer Systeme mit Anwendung auf ein elektrostatisches Kraftmikroskop ger
dc.type doctoralThesis ger
dc.type Text ger
dc.relation.urn urn:nbn:de:gbv:089-6284839293
dc.description.version publishedVersion ger
tib.accessRights frei zug�nglich ger


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