Ein Konzept zur Modellierung und Simulation mikroelektromechanischer Systeme mit Anwendung auf ein elektrostatisches Kraftmikroskop

dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.15488/7405
dc.identifier.uri	https://www.repo.uni-hannover.de/handle/123456789/7458
dc.contributor.author	Greiff, Michael	ger
dc.date.accessioned	2019-11-24T09:20:52Z
dc.date.available	2019-11-24T09:20:52Z
dc.date.issued	2010
dc.identifier.citation	Greiff, Michael: Ein Konzept zur Modellierung und Simulation mikroelektromechanischer Systeme mit Anwendung auf ein elektrostatisches Kraftmikroskop. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität, Diss., 2010, 138 S.	ger
dc.description.abstract	[no abstract]	ger
dc.language.iso	ger	eng
dc.publisher	Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover
dc.rights	Es gilt deutsches Urheberrecht. Das Dokument darf zum eigenen Gebrauch kostenfrei genutzt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.	ger
dc.subject	MEMS	ger
dc.subject	EFM	ger
dc.subject	FEM	ger
dc.subject.ddc	621,3 \| Elektrotechnik, Elektronik	ger
dc.title	Ein Konzept zur Modellierung und Simulation mikroelektromechanischer Systeme mit Anwendung auf ein elektrostatisches Kraftmikroskop	ger
dc.type	DoctoralThesis	ger
dc.type	Text	ger
dc.relation.urn	urn:nbn:de:gbv:089-6284839293
dcterms.extent	138 S.
dc.description.version	publishedVersion	ger
tib.accessRights	frei zug�nglich	ger

Name: 628483929.pdf

Größe: 2.907Mb

Format: PDF

Die Publikation erscheint in Sammlung(en):

Fakultät für Elektrotechnik und Informatik
Frei zugängliche Publikationen aus der Fakultät für Elektrotechnik und Informatik
Dissertationen
Dissertationsschriften der Leibniz Universität Hannover