Analyse der Emissionscharakteristiken von Ionenquellen für hochwertige optische Beschichtungsprozesse

Beermann, Nils

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Beermann, Nils: Analyse der Emissionscharakteristiken von Ionenquellen für hochwertige optische Beschichtungsprozesse. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität, Diss., 2009, 152 S.

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Publication type:	DoctoralThesis
Publishing status:	publishedVersion
Publication date:	2009
Keywords german:	Dünnschichttechnologie, optische Schichten, Ionenquellen, Ionenenergieverteilung, Ionenstromdichteverteilung, Faradaycup, ionengestützte Beschichtung, IAD
DDC:	530 \| Physik

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