Analyse der Emissionscharakteristiken von Ionenquellen für hochwertige optische Beschichtungsprozesse

Originalpublikation

Beermann, Nils: Analyse der Emissionscharakteristiken von Ionenquellen für hochwertige optische Beschichtungsprozesse. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität, Diss., 2009, 152 S.

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Publikationstyp: DoctoralThesis
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2009
Schlagwörter (deutsch): Dünnschichttechnologie, optische Schichten, Ionenquellen, Ionenenergieverteilung, Ionenstromdichteverteilung, Faradaycup, ionengestützte Beschichtung, IAD
Fachliche Zuordnung (DDC): 530 | Physik

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