3-D time-depending simulation of void formation in metallization structures

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Dalleau, David: 3-D time-depending simulation of void formation in metallization structures. Hannover : Universität, Diss., 2003, 109 S.

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Abstract:
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Publication type:	DoctoralThesis
Publishing status:	publishedVersion
Publication date:	2003
Keywords english:	Void, simulation, reliability
DDC:	620 \| Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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