3-D time-depending simulation of void formation in metallization structures

dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.15488/6152
dc.identifier.uri	https://www.repo.uni-hannover.de/handle/123456789/6204
dc.contributor.author	Dalleau, David	ger
dc.date.accessioned	2019-11-13T08:07:54Z
dc.date.available	2019-11-13T08:07:54Z
dc.date.issued	2003
dc.identifier.citation	Dalleau, David: 3-D time-depending simulation of void formation in metallization structures. Hannover : Universität, Diss., 2003, 109 S.	ger
dc.description.abstract	[no abstract]	ger
dc.language.iso	eng	eng
dc.publisher	Hannover : Universität
dc.rights	Es gilt deutsches Urheberrecht. Das Dokument darf zum eigenen Gebrauch kostenfrei genutzt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.	ger
dc.subject	Void	eng
dc.subject	simulation	eng
dc.subject	reliability	eng
dc.subject.ddc	620 \| Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau	ger
dc.title	3-D time-depending simulation of void formation in metallization structures	eng
dc.type	DoctoralThesis	ger
dc.type	Text	ger
dc.relation.urn	urn:nbn:de:gbv:089-3653768418
dcterms.extent	109 S.
dc.description.version	publishedVersion	ger
tib.accessRights	frei zug�nglich	ger

Name: 365376841.pdf

Größe: 3.105Mb

Format: PDF

Die Publikation erscheint in Sammlung(en):

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