Mechanische Charakterisierung von Cu-Metallisierungen mit unterschiedlichen Durchkontaktierungsgeometrien und Rissbildungsprädiktion der Ta-Barriere

dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.15488/7833
dc.identifier.uri	https://www.repo.uni-hannover.de/handle/123456789/7886
dc.contributor.author	Ciptokusumo, Joharsyah	ger
dc.date.accessioned	2019-11-30T16:16:13Z
dc.date.available	2019-11-30T16:16:13Z
dc.date.issued	2012
dc.identifier.citation	Ciptokusumo, Joharsyah: Mechanische Charakterisierung von Cu-Metallisierungen mit unterschiedlichen Durchkontaktierungsgeometrien und Rissbildungsprädiktion der Ta-Barriere. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität, Diss., 2012, 101 S.	ger
dc.description.abstract	[no abstract]	ger
dc.language.iso	ger	eng
dc.publisher	Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover
dc.rights	Es gilt deutsches Urheberrecht. Das Dokument darf zum eigenen Gebrauch kostenfrei genutzt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.	ger
dc.subject	ULSI interconnects	eng
dc.subject	cracking prediction	eng
dc.subject	porosity in Ta barrier	eng
dc.subject	ULSI Metallisierung	ger
dc.subject	Rissbildung	ger
dc.subject	Porosität in einer Ta-Barriere	ger
dc.subject.ddc	620 \| Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau	ger
dc.title	Mechanische Charakterisierung von Cu-Metallisierungen mit unterschiedlichen Durchkontaktierungsgeometrien und Rissbildungsprädiktion der Ta-Barriere	ger
dc.type	DoctoralThesis	ger
dc.type	Text	ger
dc.relation.urn	urn:nbn:de:gbv:089-6831693948
dcterms.extent	101 S.
dc.description.version	publishedVersion	ger
tib.accessRights	frei zug�nglich	ger

Name: 683169394.pdf

Größe: 6.650Mb

Format: PDF

Die Publikation erscheint in Sammlung(en):

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