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Original version
Ciptokusumo, Joharsyah: Mechanische Charakterisierung von Cu-Metallisierungen mit unterschiedlichen Durchkontaktierungsgeometrien und Rissbildungsprädiktion der Ta-Barriere. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität, Diss., 2012, 101 S.
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To cite the version in the repository, please use this identifier:
https://doi.org/10.15488/7833
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| License of this version: | Es gilt deutsches Urheberrecht. Das Dokument darf zum eigenen Gebrauch kostenfrei genutzt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden. |
| Publication type: | DoctoralThesis |
| Publishing status: | publishedVersion |
| Publication date: | 2012 |
| Keywords german: | ULSI Metallisierung, Rissbildung, Porosität in einer Ta-Barriere |
| Keywords english: | ULSI interconnects, cracking prediction, porosity in Ta barrier |
| DDC: | 620 | Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
This item appears in the following Collection(s):
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Fakultät für Elektrotechnik und Informatik
Frei zugängliche Publikationen aus der Fakultät für Elektrotechnik und Informatik -
Dissertationen
Dissertationsschriften der Leibniz Universität Hannover