Wachstum und Charakterisierung von epitaktischen Seltene-Erden-Oxiden für High-K-Anwendungen

Czernohorsky, Malte

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Czernohorsky, Malte: Wachstum und Charakterisierung von epitaktischen Seltene-Erden-Oxiden für High-K-Anwendungen. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität, Diss., 2009, 160 S.

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Publication type:	DoctoralThesis
Publishing status:	publishedVersion
Publication date:	2009
Keywords german:	Molekularstrahlepitaxie, Gadoliniumoxid, High-K-Dielektrikum
DDC:	530 \| Physik

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