Technologiekonzepte für sub-100 nm SiGe-Hetero-Feldeffekttransistoren zur Anwendung im Hochfrequenzbereich

Zeuner, Marco

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Zeuner, Marco: Technologiekonzepte für sub-100 nm SiGe-Hetero-Feldeffekttransistoren zur Anwendung im Hochfrequenzbereich. Hannover : Universität, Diss., 2003, 270 S.

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Publication type:	DoctoralThesis
Publishing status:	publishedVersion
Publication date:	2003
Keywords english:	SiGe-HFET, replacement-gate, RF-transistor
DDC:	621,3 \| Elektrotechnik, Elektronik

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