Entwicklung einer kompakten Laser-Plasma-Strahlungsquelle im EUV für messtechnische und spektroskopische Anwendungen

Koch, Lothar

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Koch, Lothar: Entwicklung einer kompakten Laser-Plasma-Strahlungsquelle im EUV für messtechnische und spektroskopische Anwendungen. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Diss., 2007, 130 S.

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Publication type:	DoctoralThesis
Publishing status:	publishedVersion
Publication date:	2007
Keywords german:	EUV-Strahlungsquelle, laserproduziertes Plasma, Debris, EUV-Messtechnik
DDC:	530 \| Physik

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