Entwicklung einer kompakten Laser-Plasma-Strahlungsquelle im EUV für messtechnische und spektroskopische Anwendungen

Originalpublikation

Koch, Lothar: Entwicklung einer kompakten Laser-Plasma-Strahlungsquelle im EUV für messtechnische und spektroskopische Anwendungen. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Diss., 2007, 130 S.

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Publikationstyp: DoctoralThesis
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2007
Schlagwörter (deutsch): EUV-Strahlungsquelle, laserproduziertes Plasma, Debris, EUV-Messtechnik
Fachliche Zuordnung (DDC): 530 | Physik

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