Metall-Isolator-Halbleiter-Tunnelkontakte mit Oxiden und Oxynitriden als Tunnelisolator

Bartels, Rüdiger

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Bartels, Rüdiger: Metall-Isolator-Halbleiter-Tunnelkontakte mit Oxiden und Oxynitriden als Tunnelisolator. Hannover : Universität Hannover, Diss., 2000, 137 S.

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Publication type:	DoctoralThesis
Publishing status:	publishedVersion
Publication date:	2000
Keywords german:	MIS, Tunnelkontakt
Keywords english:	MIS, ultrathin insulator, plasma enhanced CVD
DDC:	530 \| Physik

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