Metall-Isolator-Halbleiter-Tunnelkontakte mit Oxiden und Oxynitriden als Tunnelisolator

Originalpublikation

Bartels, Rüdiger: Metall-Isolator-Halbleiter-Tunnelkontakte mit Oxiden und Oxynitriden als Tunnelisolator. Hannover : Universität Hannover, Diss., 2000, 137 S.

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Publikationstyp: DoctoralThesis
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2000
Schlagwörter (deutsch): MIS, Tunnelkontakt
Schlagwörter (englisch): MIS, ultrathin insulator, plasma enhanced CVD
Fachliche Zuordnung (DDC): 530 | Physik

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