Combined atomic force microscope and electron-beam lithography used for the fabrication of variable-coupling quantum dots

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Rogge, M.C.; Fühner, C.; Keyser, U.F.; Haug, R.J.; Bichler, M. et al.: Combined atomic force microscope and electron-beam lithography used for the fabrication of variable-coupling quantum dots. In: Applied Physics Letters 83 (2003), Nr. 6, S. 1163-1165. DOI: https://doi.org/10.1063/1.1599972

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A study was performed on combined electron-beam lithography and atomic force microscopy used for the fabrication of variable-coupling quantum dots. The conventional electron-beam lithography was combined with direct nanofabrication by local anodic oxidation to produce a parallel double quantum dot based on a GaAs/AlGaAs heterostructure. It was found that the combination of both nanolithography methods allowed fabrication of robust in-plane gates.
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Document Type: article
Publishing status: publishedVersion
Issue Date: 2003
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