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Browsing by Subject "Porosität in einer Ta-Barriere"

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Mechanische Charakterisierung von Cu-Metallisierungen mit unterschiedlichen Durchkontaktierungsgeometrien und Rissbildungsprädiktion der Ta-Barriere

Ciptokusumo, Joharsyah (Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, 2012)

[no abstract]

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