Auflistung nach Schlagwort "Mikrosystemtechnik"

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  • Burisch, Arne; Degen, Reinhard; Hesselbach, Jürgen; Raatz, Annika (Berlin [u.a.] : VDE-Verlag, 2007)
    In recent years, the development of micro systems has been widely discussed in research articles concerning a decrease in size, an increase of complexity and the variety of materials used. In contrast, manufacturing and ...
  • Schöttler, Kerstin; Rathmann, Sven; Raatz, Annika; Hesselbach, Jürgen (Bedford : Euspen (European Society for Precision Engineering and Nanotechnology), 2007)
    The paper describes the design of a system for the automated assembly of hybrid microsystems and the accuracies of the components. The influences on the accuracy will be analyzed on the basis of an example for an automated ...
  • Hemken, G.; Böhm, S.; Dilger, K.; Raatz, A.; Rathmann, S. (Berlin [u.a.] : VDE-Verlag, 2007)
    In diesem Beitrag werden die aktuellen Ergebnisse des Teilprojekts B8 aus dem SFB 516 „Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme“ vorgestellt. Ziel dieses Teilprojektes ist, eine geeignete Verbindungstechnik auf Basis ...
  • Rathmann, Sven; Raatz, Annika; Dietrich, Franz; Hemken, Gregor; Böhm, Stefan (Berlin [u.a.] : VDE-Verlag, 2007)
    Bei der Fertigung dreidimensionaler (MEMS/MOEMS)-Strukturen durch hybride Integration von Einzelbauelementen zu einem Gesamtsystem werden aus prozesstechnischen und wirtschaftlichen Gründen in der Regel batchfähige Prozesse ...
  • Rathmann, Sven; Raatz, Annika; Hesselbach, Jürgen (Bedford : Euspen (European Society for Precision Engineering and Nanotechnology), 2008)
    Nowadays, the production of 3D MEMS and MOEMS is carried out by using hybrid integration of single components, for which batch production is normally preferred. In this field, adhesive technology is one of the major joining ...
  • Rathmann, Sven; Raatz, Annika; Schöttler, Kerstin; Hesselbach, Jürgen (Bedford : Euspen (European Society for Precision Engineering and Nanotechnology), 2007)
    To recognize edges of components in an assembly process, in particular of microelectronic or micro system components, nowadays vision systems are preferred. These systems are working fast but the results strongly depend ...
  • Hesselbach, Jürgen; Raatz, Annika; Schöttler, Kerstin (Berlin [u.a.] : VDE-Verlag, 2007)
    Nowadays, an ongoing trend of miniaturization of products and components can be observed in nearly all application areas in the world. As for microsystems, a distinction is drawn between monolithic and hybrid microsystems. ...
  • Hesselbach, J.; Raatz, A.; Wrege, J.; Herrmann, H.; Weule, H.; Fleischer, J.; Buchholz, C.; Tritschler, H.; Knoll, M.; Elsner, J.; Klocke, F.; Weck, M.; von Bodenhausen, J.; von Klitzing, A. (Bedford : Euspen (European Society for Precision Engineering and Nanotechnology), 2003)
    The study “microPRO” dealing with the international state of the art of micro production technology was conducted by the above named Institutes. The objective of this study was to determine the worldwide state-of-the-art ...
  • Burisch, Arne; Raatz, Annika; Hoxhold, Björn (Berlin [u.a.] : VDE-Verlag, 2007)
    Hohe Investitions- und Unterhaltungskosten von Präzisionsmaschinen und Reinräumen machen eine automatisierte Montage innovativer Mikroprodukte für die KMU derzeitig fast unmöglich. Die Entwicklung kostengünstiger ...