Laser als Werkzeug für die Mikro- und Nanostrukturierung : und die darin aufgeführten wissenschaftlichen Publikationen E1-E51

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Ostendorf, Andreas: Laser als Werkzeug für die Mikro- und Nanostrukturierung : und die darin aufgeführten wissenschaftlichen Publikationen E1-E51. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Habil.-Schr., 2014, 37 S.

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Name: 785327355.pdf
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Abstract:
[no abstract]
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Publication type: DoctoralThesis
Publishing status: publishedVersion
Publication date: 2014
Keywords german: Laser; Werkzeug, Strukturierung, Stempel Umformen, Sonde, Proximity-Effekt, Photoresist, Werkstück, Nanoprägen, Nahfeld, Kurzwelle, Mikrobearbeitung
DDC: 621,3 | Elektrotechnik, Elektronik

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