Analyse und Optimierung ionenbasierter Beschichtungsverfahren

dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.15488/8163
dc.identifier.uri	https://www.repo.uni-hannover.de/handle/123456789/8216
dc.contributor.author	Schmitz, Carsten	ger
dc.date.accessioned	2019-12-03T08:17:45Z
dc.date.available	2019-12-03T08:17:45Z
dc.date.issued	2013
dc.identifier.citation	Schmitz, Carsten: Analyse und Optimierung ionenbasierter Beschichtungsverfahren. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität, Diss., 2013, 135 S.	ger
dc.description.abstract	[no abstract]	ger
dc.language.iso	ger	eng
dc.publisher	Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover
dc.rights	Es gilt deutsches Urheberrecht. Das Dokument darf zum eigenen Gebrauch kostenfrei genutzt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.	ger
dc.subject	Thin film technology	eng
dc.subject	process analyzing	eng
dc.subject	Optische Dünnschichttechnologie	ger
dc.subject	Prozessanalyse	ger
dc.subject	IBS	ger
dc.subject	IAD	ger
dc.subject.ddc	530 \| Physik	ger
dc.title	Analyse und Optimierung ionenbasierter Beschichtungsverfahren	ger
dc.type	DoctoralThesis	ger
dc.type	Text	ger
dc.relation.urn	urn:nbn:de:gbv:089-7668252991
dcterms.extent	135 S.
dc.description.version	publishedVersion	ger
tib.accessRights	frei zug�nglich	ger

Name: 766825299.pdf

Größe: 8.817Mb

Format: PDF

Die Publikation erscheint in Sammlung(en):

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