Müller-Sajak, Dirk: Herstellung und Charakterisierung von (Ba,Sr)O basierten MOS Dioden und ultradünnen Isolatorfilmen auf Si(001). Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Diss, 2013, 147 S.
Abstract: |
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License of this version: |
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Publication type: |
DoctoralThesis |
Publishing status: |
publishedVersion |
Publication date: |
2013 |
Keywords german: |
Epitaxy of insulators, high-K oxides, temperature stability, silicates, MOS diodes, interface density of states
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Keywords english: |
BaO, SrO, Ba0.7Sr0.3O, Isolatorepitaxie, high-K Oxide, Temperaturstabilität, Silikate, MOS Dioden, I-V, C-V, XPS, EELS, Grenzflächenzustandsdichte
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DDC: |
530 | Physik
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