Herstellung und Charakterisierung von (Ba,Sr)O basierten MOS Dioden und ultradünnen Isolatorfilmen auf Si(001)

Originalpublikation

Müller-Sajak, Dirk: Herstellung und Charakterisierung von (Ba,Sr)O basierten MOS Dioden und ultradünnen Isolatorfilmen auf Si(001). Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Diss, 2013, 147 S.

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Publikationstyp: DoctoralThesis
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2013
Schlagwörter (deutsch): Epitaxy of insulators, high-K oxides, temperature stability, silicates, MOS diodes, interface density of states
Schlagwörter (englisch): BaO, SrO, Ba0.7Sr0.3O, Isolatorepitaxie, high-K Oxide, Temperaturstabilität, Silikate, MOS Dioden, I-V, C-V, XPS, EELS, Grenzflächenzustandsdichte
Fachliche Zuordnung (DDC): 530 | Physik

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