Mechanische Charakterisierung von Cu-Metallisierungen mit unterschiedlichen Durchkontaktierungsgeometrien und Rissbildungsprädiktion der Ta-Barriere

Originalpublikation

Ciptokusumo, Joharsyah: Mechanische Charakterisierung von Cu-Metallisierungen mit unterschiedlichen Durchkontaktierungsgeometrien und Rissbildungsprädiktion der Ta-Barriere. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität, Diss., 2012, 101 S.

Version im Repositorium

Zum Zitieren der Version im Repositorium verwenden Sie bitte diesen DOI: https://doi.org/10.15488/7833

Thumbnail
Name: 683169394.pdf
Größe: 6.650Mb
Format: PDF
Öffnen
Zusammenfassung:
[no abstract]
Lizenzbestimmungen: Es gilt deutsches Urheberrecht. Das Dokument darf zum eigenen Gebrauch kostenfrei genutzt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.
Publikationstyp: DoctoralThesis
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2012
Schlagwörter (deutsch): ULSI Metallisierung, Rissbildung, Porosität in einer Ta-Barriere
Schlagwörter (englisch): ULSI interconnects, cracking prediction, porosity in Ta barrier
Fachliche Zuordnung (DDC): 620 | Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Downloadstatistik

Zur Langanzeige

Die Publikation erscheint in Sammlung(en):

 

Suche im Repositorium


Durchblättern

Mein Nutzer/innenkonto

Nutzungsstatistiken