Entwicklung einer leistungsfähigen Ionenquelle zur Herstellung dünner Schichten hoher optischer Güte

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Ly, Thanh Hung: Entwicklung einer leistungsfähigen Ionenquelle zur Herstellung dünner Schichten hoher optischer Güte. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität, Diss., 2007, 134 S.

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Publikationstyp: DoctoralThesis
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2007
Schlagwörter (deutsch): IBS, ion beam sputtering, Ionenstrahlzerstäubung, dielektrische Schichten, Raumtriebwerk, RIM, hochpräzise Optikfertigung, Prozessentwicklung
Fachliche Zuordnung (DDC): 530 | Physik

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