Photoelektrochemische Ätz- und Oxidationstechnik für AlGaN und Anwendung in Heterostruktur-Feldeffekttransistoren

Rotter, Thomas

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Rotter, Thomas: Photoelektrochemische Ätz- und Oxidationstechnik für AlGaN und Anwendung in Heterostruktur-Feldeffekttransistoren. Hannover : Universität, Diss., 2004, 201 S.

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Publication type:	DoctoralThesis
Publishing status:	publishedVersion
Publication date:	2005
Keywords english:	Photoelectrochemistry (PEC), aluminium gallium nitride (AlGaN), MOS heterostructure field effect transistor (MOS-HFET)
DDC:	530 \| Physik

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