Fertigung und Erprobung eines Mikro-Wirbelstromsensors zur Abstandsmessung

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Andreeva, Ekaterina: Fertigung und Erprobung eines Mikro-Wirbelstromsensors zur Abstandsmessung. Hannover : Universität, Diss., 2005, 135 S.

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Publication type: DoctoralThesis
Publishing status: publishedVersion
Publication date: 2005
Keywords german: Abstand, Berührungslose Messung, Dünnschichttechnik, Mikrosensor, Wirbelstrom
DDC: 670 | Industrielle und handwerkliche Fertigung

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