Beiträge zur Untersuchung der Reaktionen von SiCl4 und GeCl4 mit N2, NH3, PH3, H2O und CH4

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dc.identifier.uri http://dx.doi.org/10.15488/6255
dc.identifier.uri https://www.repo.uni-hannover.de/handle/123456789/6307
dc.contributor.author Schiefenhövel, Nils ger
dc.date.accessioned 2019-11-13T11:47:34Z
dc.date.available 2019-11-13T11:47:34Z
dc.date.issued 2003
dc.identifier.citation Schiefenhövel, Nils: Beiträge zur Untersuchung der Reaktionen von SiCl4 und GeCl4 mit N2, NH3, PH3, H2O und CH4. Hannover : Universität, Diss., 2003, 123 S. ger
dc.description.abstract [no abstract] ger
dc.language.iso ger eng
dc.publisher Hannover : Universität
dc.rights Es gilt deutsches Urheberrecht. Das Dokument darf zum eigenen Gebrauch kostenfrei genutzt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden. ger
dc.subject Gas phase reactions eng
dc.subject plasma chemistry eng
dc.subject chlorosilazanes eng
dc.subject.ddc 540 | Chemie ger
dc.title Beiträge zur Untersuchung der Reaktionen von SiCl4 und GeCl4 mit N2, NH3, PH3, H2O und CH4 ger
dc.type DoctoralThesis ger
dc.type Text ger
dc.relation.urn urn:nbn:de:gbv:089-3672109244
dcterms.extent 123 S.
dc.description.version publishedVersion ger
tib.accessRights frei zug�nglich ger


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