Beiträge zur Untersuchung der Reaktionen von SiCl4 und GeCl4 mit N2, NH3, PH3, H2O und CH4

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Schiefenhövel, Nils: Beiträge zur Untersuchung der Reaktionen von SiCl4 und GeCl4 mit N2, NH3, PH3, H2O und CH4. Hannover : Universität, Diss., 2003, 123 S.

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[no abstract]
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Publication type: DoctoralThesis
Publishing status: publishedVersion
Publication date: 2003
Keywords english: Gas phase reactions, plasma chemistry, chlorosilazanes
DDC: 540 | Chemie

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