Beiträge zur Untersuchung der Reaktionen von SiCl4 und GeCl4 mit N2, NH3, PH3, H2O und CH4

Originalpublikation

Schiefenhövel, Nils: Beiträge zur Untersuchung der Reaktionen von SiCl4 und GeCl4 mit N2, NH3, PH3, H2O und CH4. Hannover : Universität, Diss., 2003, 123 S.

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Publikationstyp: DoctoralThesis
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2003
Schlagwörter (englisch): Gas phase reactions, plasma chemistry, chlorosilazanes
Fachliche Zuordnung (DDC): 540 | Chemie

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