Herstellung und Charakterisierung dünner Gatedielektrika auf Germanium

dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.15488/6250
dc.identifier.uri	https://www.repo.uni-hannover.de/handle/123456789/6302
dc.contributor.author	Röver, Kai-Sven	ger
dc.date.accessioned	2019-11-13T11:29:11Z
dc.date.available	2019-11-13T11:29:11Z
dc.date.issued	2003
dc.identifier.citation	Röver, Kai-Sven: Herstellung und Charakterisierung dünner Gatedielektrika auf Germanium. Hannover : Universität, Diss., 2003, 139 S.	ger
dc.description.abstract	[no abstract]	ger
dc.language.iso	ger	eng
dc.publisher	Hannover : Universität
dc.rights	Es gilt deutsches Urheberrecht. Das Dokument darf zum eigenen Gebrauch kostenfrei genutzt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.	ger
dc.subject	Germanium-MIS	eng
dc.subject	low-temperature dielectrics	eng
dc.subject	ECR-PACVD	eng
dc.subject.ddc	620 \| Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau	ger
dc.title	Herstellung und Charakterisierung dünner Gatedielektrika auf Germanium	ger
dc.type	DoctoralThesis	ger
dc.type	Text	ger
dc.relation.urn	urn:nbn:de:gbv:089-3672218961
dcterms.extent	139 S.
dc.description.version	publishedVersion	ger
tib.accessRights	frei zug�nglich	ger

Name: 367221896.pdf

Größe: 4.710Mb

Format: PDF

Die Publikation erscheint in Sammlung(en):

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