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3-D time-depending simulation of void formation in metallization structures

Dalleau, David (Hannover : Universität, 2003)

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Autor/in
- Dalleau, David (1)
Schlagwort
- reliability (1)
- simulation (1)
- Void (1)
Erscheinungsdatum
- 2003 (1)
Sprache (ISO)
- eng (1)