Zusammenfassung: | |
We present our recent results on the fabrication of photonic devices such as single-mode and few-mode waveguides, Ycouplers as well as integrated interferometric sensor devices. The devices were created by means of a fabrication method based on maskless lithography, which allows for fabricating embedded integrated polymer elements on a scale of several square centimeters with a resolution down to one micron. We demonstrate the versatility of our approach by presenting first results on photonic structures created by maskless lithography. © 2016 SPIE.
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Publikationstyp: | BookPart |
Publikationsstatus: | publishedVersion |
Erstveröffentlichung: | 2016 |
Schlagwörter (englisch): | Integrated photonics, Maskless lithography, Polymer photonics, Waveguides, Fabrication, Lithography, Photonics, Polymers, Waveguides, Fabrication method, Integrated photonic devices, Integrated photonics, Integrated polymers, Interferometric sensor, Mask-less lithography, Photonic structure, Polymer photonics, Photonic devices |
Fachliche Zuordnung (DDC): | 530 | Physik |
Kontrollierte Schlagwörter: | Konferenzschrift |
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