Greifsysteme für das Fügen mit schmelzklebstoff-vorbeschichteten Bauteilen zur Fertigung von MEMS und MOEMS

Abstract

Bei der Fertigung dreidimensionaler (MEMS/MOEMS)-Strukturen durch hybride Integration von Einzelbauelementen zu einem Gesamtsystem werden aus prozesstechnischen und wirtschaftlichen Gründen in der Regel batchfähige Prozesse verwendet. Als wichtige Aufbau- und Verbindungstechnik hat sich dabei das Kleben etabliert. Im Rahmen des Sonderforschungsbereichs 516 wurde eine batchfähige Verbindungstechnik auf Basis von Schmelzklebstoffen entwickelt. Sie ermöglicht, Mikrobauteile vorzubeschichten und in einem anschließenden Fügeprozess diese Bauteile zu montieren. Dabei können auf Grund sehr schneller Abbindezeiten von Schmelzklebstoffen kurze Fügeprozesszeiten erreicht werden. Dieser Beitrag stellt Greifsysteme vor, mit denen mit Schmelzklebstoff vorbeschichtete Bauteile gefügt werden können. Dabei hängt die Wahl des einzusetzenden Greifsystems von der Prozessführung, der Wärmeführung sowie von den thermischen Eigenschaften des zu fügenden Bauteils ab.