Ein Konzept zur Modellierung und Simulation mikroelektromechanischer Systeme mit Anwendung auf ein elektrostatisches Kraftmikroskop

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Greiff, Michael: Ein Konzept zur Modellierung und Simulation mikroelektromechanischer Systeme mit Anwendung auf ein elektrostatisches Kraftmikroskop. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität, Diss., 2010, 138 S.

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Zusammenfassung: 
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Publikationstyp: doctoralThesis
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2010
Die Publikation erscheint in Sammlung(en):Fakultät für Elektrotechnik und Informatik
Dissertationen

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