Malobabic, S.; Jupé, M.; Ristau, D.: Towards an electro-magnetic field separation of deposited material implemented in an ion beam sputter process. In: Applied Physics Letters 102 (2013), Nr. 22, 221604. DOI: https://doi.org/10.1063/1.4807793
Zusammenfassung: | |
Nowadays, Ion Beam Sputter (IBS) processes are very well optimized on an empirical basis. To achieve further progresses, a modification of the IBS process by guiding the coating material using an axial magnetic field and an additional electrical field has been studied. The electro-magnetic (EM) field leads to a significant change in plasma properties and deposition rate distributions, whereas an increase in deposition rate along the centerline of the axial EM field around 150% was observed. These fundamental studies on the prototype are the basis for the development of an applicable and workable design of a separation device. | |
Lizenzbestimmungen: | CC BY 3.0 Unported |
Publikationstyp: | Article |
Publikationsstatus: | publishedVersion |
Erstveröffentlichung: | 2013 |
Die Publikation erscheint in Sammlung(en): | An-Institute |
Pos. | Land | Downloads | ||
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Anzahl | Proz. | |||
1 | Germany | 79 | 66,39% | |
2 | United States | 17 | 14,29% | |
3 | China | 8 | 6,72% | |
4 | Korea, Republic of | 4 | 3,36% | |
5 | Canada | 3 | 2,52% | |
6 | Russian Federation | 2 | 1,68% | |
7 | France | 2 | 1,68% | |
8 | Sweden | 1 | 0,84% | |
9 | Japan | 1 | 0,84% | |
10 | Indonesia | 1 | 0,84% | |
andere | 1 | 0,84% |
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