Magnetron sputter deposition of Ta2O5-SiO2 quantized nanolaminates

Downloadstatistik des Dokuments (Auswertung nach COUNTER):

Schwyn Thöny, S.; Bärtschi, M.; Batzer, M.; Baselgia, M.; Waldner, S. et al.: Magnetron sputter deposition of Ta2O5-SiO2 quantized nanolaminates. In: Optics Express 31 (2023), Nr. 10, 15825. DOI: https://doi.org/10.1364/oe.487892

Version im Repositorium

Zum Zitieren der Version im Repositorium verwenden Sie bitte diesen DOI: https://doi.org/10.15488/16414

Zeitraum, für den die Download-Zahlen angezeigt werden:

Jahr: 
Monat: 

Summe der Downloads: 12




Kleine Vorschau
Zusammenfassung: 
Quantized nanolaminates are a type of optical metamaterials, which were discovered only recently. Their feasibility was demonstrated by atomic layer deposition and ion beam sputtering so far. In this paper, we will report on the successful magnetron sputter deposition of quantized nanolaminates based on Ta2O5-SiO2. We will describe the deposition process, show results and material characterization of films deposited in a very wide parameter range. Furthermore, we will show how quantized nanolaminates deposited by magnetron sputtering were used in optical interference coatings such as antireflection and mirror coatings.
Lizenzbestimmungen: Optica Open Access Publishing Agreement
Publikationstyp: Article
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2023
Die Publikation erscheint in Sammlung(en):An-Institute

Verteilung der Downloads über den gewählten Zeitraum:

Herkunft der Downloads nach Ländern:

Pos. Land Downloads
Anzahl Proz.
1 image of flag of Germany Germany 5 41,67%
2 image of flag of France France 4 33,33%
3 image of flag of United States United States 3 25,00%

Weitere Download-Zahlen und Ranglisten:


Hinweis

Zur Erhebung der Downloadstatistiken kommen entsprechend dem „COUNTER Code of Practice for e-Resources“ international anerkannte Regeln und Normen zur Anwendung. COUNTER ist eine internationale Non-Profit-Organisation, in der Bibliotheksverbände, Datenbankanbieter und Verlage gemeinsam an Standards zur Erhebung, Speicherung und Verarbeitung von Nutzungsdaten elektronischer Ressourcen arbeiten, welche so Objektivität und Vergleichbarkeit gewährleisten sollen. Es werden hierbei ausschließlich Zugriffe auf die entsprechenden Volltexte ausgewertet, keine Aufrufe der Website an sich.