Laser als Werkzeug für die Mikro- und Nanostrukturierung : und die darin aufgeführten wissenschaftlichen Publikationen E1-E51

Originalpublikation

Ostendorf, Andreas: Laser als Werkzeug für die Mikro- und Nanostrukturierung : und die darin aufgeführten wissenschaftlichen Publikationen E1-E51. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Habil.-Schr., 2014, 37 S.

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Publikationstyp: DoctoralThesis
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2014
Schlagwörter (deutsch): Laser; Werkzeug, Strukturierung, Stempel Umformen, Sonde, Proximity-Effekt, Photoresist, Werkstück, Nanoprägen, Nahfeld, Kurzwelle, Mikrobearbeitung
Fachliche Zuordnung (DDC): 621,3 | Elektrotechnik, Elektronik

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