Atomic layer deposition of aluminum oxide on crystalline silicon : fundamental interface properties and application to solar cells

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Werner, Florian: Atomic layer deposition of aluminum oxide on crystalline silicon : fundamental interface properties and application to solar cells. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Diss., 2014, 199 S.

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Publication type: DoctoralThesis
Publishing status: publishedVersion
Publication date: 2014
Keywords german: Aluminiumoxid, Oberflächenpassivierung, Inversionsschicht
Keywords english: Aluminum oxide, surface passivation, inversion layer
DDC: 530 | Physik

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