Ein Konzept zur Modellierung und Simulation mikroelektromechanischer Systeme mit Anwendung auf ein elektrostatisches Kraftmikroskop

Greiff, Michael

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Greiff, Michael: Ein Konzept zur Modellierung und Simulation mikroelektromechanischer Systeme mit Anwendung auf ein elektrostatisches Kraftmikroskop. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität, Diss., 2010, 138 S.

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Publication type:	DoctoralThesis
Publishing status:	publishedVersion
Publication date:	2010
Keywords german:	MEMS, EFM, FEM
DDC:	621,3 \| Elektrotechnik, Elektronik

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