Kohlenstoff-unterstützte Germaniumepitaxie auf Silizium

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Tetzlaff, Dominic: Kohlenstoff-unterstützte Germaniumepitaxie auf Silizium. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität, Diss., 2013, 165 S.

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Publikationstyp: DoctoralThesis
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2013
Schlagwörter (deutsch): Germanium, Kohlenstoff, Tieftemperaturepitaxie
Schlagwörter (englisch): Carbon, low-temperature epitaxy
Fachliche Zuordnung (DDC): 530 | Physik

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