Wachstum und Charakterisierung von epitaktischen Seltene-Erden-Oxiden für High-K-Anwendungen

Originalpublikation

Czernohorsky, Malte: Wachstum und Charakterisierung von epitaktischen Seltene-Erden-Oxiden für High-K-Anwendungen. Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität, Diss., 2009, 160 S.

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Publikationstyp: DoctoralThesis
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2009
Schlagwörter (deutsch): Molekularstrahlepitaxie, Gadoliniumoxid, High-K-Dielektrikum
Fachliche Zuordnung (DDC): 530 | Physik

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