3-D time-depending simulation of void formation in metallization structures

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Dalleau, David: 3-D time-depending simulation of void formation in metallization structures. Hannover : Universität, Diss., 2003, 109 S.

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Publikationstyp: DoctoralThesis
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2003
Schlagwörter (englisch): Void, simulation, reliability
Fachliche Zuordnung (DDC): 620 | Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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