Xu, Min; Kauth, Felix; Mickan, Bodo; Brand, Uwe
(Les Ulis : EDP Sciences, 2015)
Le Profilscanner developpe par le PTB permet de realiser des mesures de rugosite et de de forme sur des structures d'un diametre minimum de 40 µm presentant un rapport d'aspect eleve. Il a ete possible pour la premiere de ...