Fügen Klebstoff-vorbeschichteter Bauteile zur Fertigung von MEMS und MOEMS

Originalpublikation

Böhm, S.; Dilger, K.; Raatz, A.; Hemken, G.; Rathmann, S.: Fügen Klebstoff-vorbeschichteter Bauteile zur Fertigung von MEMS und MOEMS. In: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop vom 7. bis 8. Mai in Karlsruhe. Berlin [u.a.] : VDE-Verlag, 2007 (GMM-Fachbericht ; 53), S. 155-162

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Zusammenfassung:
In diesem Beitrag werden die aktuellen Ergebnisse des Teilprojekts B8 aus dem SFB 516 „Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme“ vorgestellt. Ziel dieses Projektes ist es, eine geeignete Verbindungstechnik auf Basis von nicht-viskosen Klebstoffsystemen (Schmelzklebstoffe) für MEMS und MOEMS zu entwickeln. Dabei wird von vornherein auf die Automatisierbarkeit, die Prozessgeschwindigkeit und die Anwendbarkeit in einem Batchprozess geachtet. Es werden verschiedene Möglichkeiten vorgestellt, den Schmelzklebstoff aufzutragen. Des Weiteren wird eine Anlage zur Montage von mikrosystemtechnischen Komponenten vorgestellt, mit der das automatisierte Fügen Klebstoff-vorbeschichteter Bauteile möglich ist. Dabei wird auch auf die erschiedenen Prozessvarianten zur Erwärmung der Bauteile bzw. des Schmelzklebstoffs eingegangen.
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Publikationstyp: BookPart
Publikationsstatus: publishedVersion
Erstveröffentlichung: 2007
Schlagwörter (deutsch): Konferenzschrift
Fachliche Zuordnung (DDC): 620 | Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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