Rogge, M.C.; Fühner, C.; Keyser, U.F.; Haug, R.J.; Bichler, M. et al.: Combined atomic force microscope and electron-beam lithography used for the fabrication of variable-coupling quantum dots. In: Applied Physics Letters 83 (2003), Nr. 6, S. 1163-1165. DOI: https://doi.org/10.1063/1.1599972
Zusammenfassung: | |
A study was performed on combined electron-beam lithography and atomic force microscopy used for the fabrication of variable-coupling quantum dots. The conventional electron-beam lithography was combined with direct nanofabrication by local anodic oxidation to produce a parallel double quantum dot based on a GaAs/AlGaAs heterostructure. It was found that the combination of both nanolithography methods allowed fabrication of robust in-plane gates. | |
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Publikationstyp: | Article |
Publikationsstatus: | publishedVersion |
Erstveröffentlichung: | 2003 |
Die Publikation erscheint in Sammlung(en): | Fakultät für Mathematik und Physik |
Pos. | Land | Downloads | ||
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Anzahl | Proz. | |||
1 | Germany | 27 | 33,75% | |
2 | United States | 22 | 27,50% | |
3 | China | 10 | 12,50% | |
4 | Ireland | 2 | 2,50% | |
5 | United Kingdom | 2 | 2,50% | |
6 | France | 2 | 2,50% | |
7 | Finland | 1 | 1,25% | |
8 | Czech Republic | 1 | 1,25% | |
9 | Colombia | 1 | 1,25% | |
10 | Switzerland | 1 | 1,25% | |
andere | 11 | 13,75% |
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