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Rahlves, M.: Fabrication of polymer based integrated photonic devices by maskless lithography. In: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 9745 (2016), 97450D. DOI: https://doi.org/10.1117/12.2213211
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| Zusammenfassung: | |
We present our recent results on the fabrication of photonic devices such as single-mode and few-mode waveguides, Ycouplers as well as integrated interferometric sensor devices. The devices were created by means of a fabrication method based on maskless lithography, which allows for fabricating embedded integrated polymer elements on a scale of several square centimeters with a resolution down to one micron. We demonstrate the versatility of our approach by presenting first results on photonic structures created by maskless lithography. © 2016 SPIE. | |
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| Publikationstyp: | BookPart |
| Publikationsstatus: | publishedVersion |
| Erstveröffentlichung: | 2016 |
| Die Publikation erscheint in Sammlung(en): | Fakultät für Mathematik und Physik |
Verteilung der Downloads über den gewählten Zeitraum:
Herkunft der Downloads nach Ländern:
| Pos. | Land | Downloads | ||
|---|---|---|---|---|
| Anzahl | Proz. | |||
| 1 |  |
Germany | 250 | 57,47% |
| 2 |  |
United States | 46 | 10,57% |
| 3 |  |
China | 19 | 4,37% |
| 4 |  |
Russian Federation | 12 | 2,76% |
| 5 |  |
Korea, Republic of | 10 | 2,30% |
| 6 |  |
No geo information available | 9 | 2,07% |
| 7 |  |
Canada | 8 | 1,84% |
| 8 |  |
Iran, Islamic Republic of | 6 | 1,38% |
| 9 |  |
France | 5 | 1,15% |
| 10 |  |
Czech Republic | 5 | 1,15% |
| andere | 65 | 14,94% | ||
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